主動隔振平臺由減振平臺和控制器兩部分組成。減振平臺采用精密金屬彈簧實現(xiàn)被動隔振，由精密直線電機(jī)實現(xiàn)主動減振，用于反饋控制檢測的速度傳感器采用超精密震動探頭，所有零部件封閉在機(jī)體內(nèi)，系統(tǒng)運行時不需提供額外壓縮空氣，能自適應(yīng)調(diào)節(jié)地基前饋，實現(xiàn)自由度減振。低頻振動能量大，波長長，距離大，電鏡對低頻振動敏感，電鏡內(nèi)部有氣缸（被動），自行可以消除中高頻振動。高頻振動可以換位置解決，低頻振動難以通過被動去解決，用于將超精密儀器與低頻振動隔離，人體工程學(xué)設(shè)計使用戶可以舒適地執(zhí)行要求應(yīng)用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。

　　主動隔振平臺可以從0.7Hz開始隔離振動，適合用于得到更大低頻隔振性能，對于在1-10Hz范圍內(nèi)的隔振效果很是明顯，而精密儀器設(shè)備對于1-10Hz的振動是很敏感的，便攜、緊湊型的設(shè)計，可以非常輕松地安裝在工作臺或者桌面上，對于輸入?yún)?shù)的只有一個要求就是要通過標(biāo)準(zhǔn)的交流電接口供電。

　　主動隔振平臺能夠克服一般光學(xué)平臺以及氣浮平臺低頻共振，配合隔音箱能夠隔絕空氣的擾動，能夠給精密測量提供振動隔離，適用于時間頻率測量、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡，被設(shè)計用來使超精密儀器設(shè)備可以隔離來自于建筑地面的振動，可隔離的頻率低于1Hz，該系統(tǒng)可理想應(yīng)用于光學(xué)顯微鏡、掃描探針顯微鏡及計量儀器，可以輕松選擇并設(shè)置三個增益中的一個以獲得適合當(dāng)前環(huán)境的良好性能。