TMC潔凈室試驗(yàn)臺(tái)63-635

全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái)，設(shè)計(jì)安裝在地面上，可實(shí)現(xiàn)最大的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供，它還可為光學(xué)平臺(tái)、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供*與倫比的隔振性能。

TMC潔凈室試驗(yàn)臺(tái)63-635 

ClassOne工作站用潤濕酒精的無絨布進(jìn)行了擦拭，并在出廠前用塑料進(jìn)行雙層包裹。

Gimbal Piston隔振器

所有CleanBench工作臺(tái)均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標(biāo)準(zhǔn)配置。在并排測(cè)試中，Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能，即使在極低的輸入激勵(lì)水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術(shù)使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷，并能迅速消除隔振臺(tái)面的干擾。

優(yōu)點(diǎn)

從2 Hz開始的垂直和水平隔振

在10 Hz時(shí)振動(dòng)減少95％以上

幾乎無摩擦，避免了滾動(dòng)摩擦向靜摩擦過渡

通過充當(dāng)萬向節(jié)來調(diào)整水平位移

即使是*低輸入水平，Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個(gè)方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性，對(duì)典型的低振幅環(huán)境地面振動(dòng)具有高響應(yīng)性，而對(duì)于嚴(yán)重的瞬態(tài)干擾（例如突然的負(fù)載變化或頂板撞擊），它可實(shí)現(xiàn)非常好的減振效果。結(jié)果表明，Gimbal Piston隔振器可提供*越的隔振效果，幾乎可以在幾秒鐘內(nèi)消除任何嚴(yán)重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對(duì)較高重心的隔振系統(tǒng)，而不會(huì)影響隔振效果。

低振幅輸入響應(yīng)

在設(shè)計(jì)有效的隔振器時(shí)，所遇到的最大挑戰(zhàn)是在周圍建筑地面振動(dòng)的典型低振動(dòng)幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通?；趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅８叩摹罢駝?dòng)臺(tái)"上進(jìn)行的測(cè)量。這種輸入振幅約為毫米的測(cè)試會(huì)導(dǎo)致對(duì)性能的估計(jì)不切實(shí)際，并且具有誤導(dǎo)性，因?yàn)榻Y(jié)果不能反映實(shí)際使用中的性能。

Gimbal Piston隔振器設(shè)計(jì)的*特之處在于即使在最安靜、真實(shí)的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關(guān)系，因?yàn)樵O(shè)計(jì)幾乎沒有摩擦，因此能夠避免滾動(dòng)摩擦到靜摩擦過渡。

我們?cè)诘湫偷牡孛嬲駝?dòng)水平下測(cè)試的所有其他系統(tǒng)要么比聲稱的共振頻率高，要么通過隔振器支架的傳輸大幅增加。

我們強(qiáng)調(diào)性能規(guī)格在低輸入水平的重要性，因?yàn)槲覀冊(cè)谧约旱臏y(cè)試和許多使用過的設(shè)備中反復(fù)觀察到，在更大的振幅和更高的頻率下更容易實(shí)現(xiàn)更好的性能。

水平與垂直輸入

我們創(chuàng)新的隔振器可以充當(dāng)萬向節(jié)，使薄壁滾動(dòng)密封膜片能夠適應(yīng)水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架，而是將載荷放在一個(gè)單獨(dú)的頂板上，該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內(nèi)的剛性桿。桿的底部有一個(gè)支撐在堅(jiān)硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地?fù)u動(dòng)（無滑動(dòng)或滾動(dòng)），因此，固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平，該方法也非常有效，因?yàn)殪o摩擦幾乎與滾動(dòng)摩擦相同。水平運(yùn)動(dòng)只是轉(zhuǎn)換為通常的垂直膜片彎曲，但不同相：活塞的一側(cè)向上，另一側(cè)向下，以萬向節(jié)式運(yùn)動(dòng)。

其他類型隔振器的局限性

厚壁橡膠膜片。大多數(shù)商用隔振器在活塞中采用廉價(jià)的厚壁橡膠膜片來實(shí)現(xiàn)垂直隔振。由于這些元件的相對(duì)不靈活性，低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統(tǒng)用手感覺起來較“柔軟"，但對(duì)于典型的低水平地面振動(dòng)，橡膠更像是一個(gè)剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。

密封氣動(dòng)隔振器（被動(dòng)）。密封空氣隔振器不會(huì)自動(dòng)根據(jù)負(fù)載變化進(jìn)行調(diào)整。這種系統(tǒng)的主要局限性在于，它們太硬而不能有效地隔振。例如，一個(gè)真正1.5 Hz共振頻率的被動(dòng)隔振器在負(fù)載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時(shí)會(huì)垂直漂移幾英寸，并且需要不斷的手動(dòng)調(diào)整。因此，實(shí)際密封隔振器并沒有這一設(shè)計(jì)的低共振頻率。

軸承滑板。 理論上，軸承滑板可通過其解耦效應(yīng)實(shí)現(xiàn)水平隔振。實(shí)際上，如果要讓這種設(shè)計(jì)在低振幅下工作，就需要公差很小、經(jīng)過精密磨削的硬化軸承。現(xiàn)有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動(dòng)。此外，所有這些系統(tǒng)最初都很難對(duì)齊，并且很容易偏離校準(zhǔn)范圍。

自制組裝。 自制隔振系統(tǒng) - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動(dòng)頻率高且需要最小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質(zhì)量的原理，但它們的性能主要通過彈簧剛度來區(qū)分：彈簧越硬，共振頻率越高。因此，自制解決方案受到其高共振頻率的限制。

具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時(shí)開始隔振，并可在10 Hz時(shí)將振動(dòng)降低95％以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開始隔振并在30 Hz時(shí)將振動(dòng)減小90％。但是大多數(shù)建筑物地面在5到30 Hz之間表現(xiàn)出最高的振動(dòng)位移，因此網(wǎng)球或橡膠墊通過放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實(shí)際上會(huì)使問題變得更加嚴(yán)重。

規(guī)格

訂購表

帶Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站

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*定擱板時(shí)需要